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  • 產品名稱: 鍺烷GeH4 混合物
  • 市場價:
  • 零售價:

      為了提供小于100%的濃度,鍺烷可以用氬、氦、氫、氮稀釋。特別是當相對少量的鍺需要沉積時,使用這種形式的鍺烷可以使工序增加一個額外的控制程度。

 

容器信息

氣瓶接頭: CGA-350
摻雜濃度可以與UHP 或 VLSI級別的平衡氣相混合。

鍺烷濃度

氣瓶尺寸

壓力
磅/平方英尺

氬氣

氦氣

氫氣

氮氣

ft3

m3

ft3

m3

ft3

m3

ft3

m3

5ppm - 2%

044
016

1500
1500

167
63

4.7
1.8

146
55

4.1
1.6

146
55

4.1
1.6

156
58

4.4
1.7

為了安全考慮,高濃度混合物的壓力低于上面顯示的壓力。由于鍺烷具有潛在的不穩定性,因此氣瓶只灌沖了少量的鍺烷。如果其自發分解,氣瓶可以安全地容納熱量和壓力。

保存期限:6個月

 


 

 

發貨信息

氫平衡

含量

貨物名稱

貨運票據

裝運標簽

>62.2%

_% 鍺烷/氫氣混合物吸入危害

壓縮氣體, 有毒,易燃, 未另作說明 (_% 鍺烷/氫氣混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危險區B

有毒氣體
易燃氣體

62.2% - 20.7%

_% 鍺烷/氫氣混合物 吸入危害

壓縮氣體, 有毒,易燃, 未另作說明 (_% 鍺烷/氫氣混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危險區C

有毒氣體
易燃氣體

20.7% - 12.44%

__% 鍺烷/氫氣混合物 吸入危害

壓縮氣體, 有毒,易燃, 未另作說明 (_% 鍺烷/氫氣混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危險區D

有毒氣體
易燃氣體

<12.44%

_% 鍺烷/氫氣混合物 吸入危害

壓縮氣體, 有毒,易燃, 未另作說明 (% 鍺烷/氫氣混合物) 2.1 UN 1954

易燃氣體

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